三氟甲烷

R-23制冷剂,别名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23属于HFC类物质(非ODS物质Ozone-depleting Substances)——因此完全不破坏臭氧层,是当前世界绝大多数国家认可并推荐使用的环保制冷剂,也是目前主流的环保制冷剂,广泛用于新冷冻设备(超低温、深冷)上的初装和维修过程中的再添加。 在半导体产业中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化

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R-23制冷剂,别名R23、氟利昂23、F23、F-23、HFC23、HFC-23、三氟甲烷。由于R-23属于HFC类物质(非ODS物质Ozone-depleting Substances)——因此完全不破坏臭氧层,是当前世界绝大多数国家认可并推荐使用的环保制冷剂,也是目前主流的环保制冷剂,广泛用于新冷冻设备(超低温、深冷)上的初装和维修过程中的再添加。

在半导体产业中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等离子蚀刻(plasma etching)中。三氟甲烷也是一种制冷剂,名称为R-23或HFC-23,因为其不含氯,不会造成臭氧层破洞,有时会用来会取代造成臭氧层破洞的三氟氯甲烷(cfc-13)。

三氟甲烷因为其低毒性、不容易反应及高密度,可用作灭火剂使用。此时常使用杜邦的商标名称FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷过去曾用来取代气体灭火系统中的海龙1301(cfc-13b1)。

中文名称:三氟甲烷

中文别名:氟仿;氟里昂-23;HFC-23灭火剂

英文名称:trifluoromethane

英文别名:Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;

CAS号:75-46-7

EINECS号:200-872-4

规格:8kg/瓶,30kg/瓶

分子式:CHF3

分子量:70.0138

外观与性状:无色无臭气体。



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